Статистика завантажень
Статистика завантаженьРудик, А. В. та Квасніков, В. П. (2017) АМПЛІТУДНО-ФАЗОВИЙ МЕТОД ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ВИСОКОДОБРОТНИХ ЄМНІСНИХ МЕМС-СЕНСОРІВ. ВІСНИК ІНЖЕНЕРНОЇ АКАДЕМІЇ УКРАЇНИ (2). с. 198-204.
|
Text
Рудик А.В. А-Ф метод вимірювання параметрів ємнісних МЕМС-сенсорів.pdf.zax.pdf Download(646kB) | Перегляд |
Анотація
В роботі показано, що основні параметри високодобротнихємнісних МЕМС-сенсорів, заданих еквівалентними схемами резонансних контурів (паралельних та послідовних), можна визначити при вимірюванні кута фазового зсуву між двома напругами на виході вимірювального перетворювача, частот цих напруг та відношення амплітуд цих напруг. Проаналізовано залежність похибок визначення резонансної частоти та смуги пропускання ємнісних МЕМС-сенсорів від параметрів вимірювального перетворювача та точності вимірювальних приладів. На основі запропонованих вимірювальних перетворювачів розроблено структурну схему амплітудно-фазового вимірювача параметрів високодобротнихємнісних МЕМС-сенсорів, заданих еквівалентними схемами паралельних та послідовних резонансних контурів.
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Ключові слова: | мікроелектромеханічна система, ємнісний сенсор, амплітудно-фазовий метод, метод вимірювання, резонансний контур, фазовий зсув, відношення амплітуд напруг |
| УДК: | 621.317.08 |
| Бібліографічний опис: | Рудик А. В. Амплітудно-фазовий метод вимірювання параметрів високодобротних ємнісних МЕМС-сенсорів / А. В. Рудик, В. П. Квасніков // Вісник інженерної академії України. - 2017. - № 2. - С. 198-204. |
| Тематики: | За напрямами > Усі спеціальності |
| Користувач, що депонує: | С. В. Бойчук |
| Дата внесення: | 05 Трав 2018 06:32 |
| Останні зміни: | 05 Трав 2018 06:32 |
| URI: | http://ep3.nuwm.edu.ua/id/eprint/9531 |
 |
Перегляд елементу |
Завантажень
Завантажень за місяць протягом останнього року
